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        四甲基氫氧化銨

        • 英文:Tetramethylammonium hydroxide
        • CAS號:75-59-2
        • 別名:顯影液;四甲基氫氧化銨溶液;TMAH;TMAOH
        • 化學式:C4H13NO
        • 分子量:91.15
        • 其他參數:1835

        產品詳情

        外觀

        無色結晶(常含三、五等結晶水),熔點68-71℃,極易吸潮,在空氣中能迅速吸收二氧化碳,130℃時分解為甲醇和三甲胺,通常使用有10%;25%水(或醇)溶液和含結晶水化合物。

        理化特性

        密度: 1.016 (25% 水溶液) 

        折射率 :1.3806

        儲存

        儲存于陰涼、干燥、通風的庫房,保持容器密封

        儲存條件:2-8°C


        用途

        在有機硅片生產中常用作光亮劑、清洗劑和觸刻劑等;在電路板的印刷和顯微鏡片的制造中,可作為集成電路板的清洗劑和半導體微加工中的各向異性腐蝕劑。用作CMP過程清洗劑、IC.vlsi及TFI-LCD正膠顯影劑。用作極譜試劑。

        安全

        1、建議應急處理人員佩戴自吸過濾式防毒面具,穿耐酸堿防護服,戴氟橡膠手套。操作處置應在具備局部通風或全面通風換氣設施的場所進行。避免眼和皮膚的接觸,避免吸入蒸汽。

        2、搬運時要輕裝輕卸,防止包裝及容器損壞。配備相應品種和數量的消防器材及泄漏應急處理設備。

        包裝規格

        200KG/塑桶  |  1000KG/塑桶

        質量標準

        含量w/%:25%(水溶液)  |  25%(甲醇溶液)

        可定制AR、CP、電子級、電鍍級特定含量產品

        指標:協商定制


        BZY033 – 2019  四甲基氫氧化銨

        指標名稱


        特定級


        含量,w / %


        ≥25.0


        碳酸鹽(以CO3計),w / %


        ≤0.05


        氯化物(Cl),w / %

        甲醇,w / %


        ≤0.001

        ≤0.03


        鈉(Na),w / %

        鎂(Mg),w / %

        鉀(K),w / %

        鈣(Ca),w / %

        鐵(Fe),w / %


        ≤0.000 1

        ≤0.000 1

        ≤0.000 1

        ≤0.000 1

        ≤0.000 1



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